1.     Độ nhạy (sensitivity) là sự thay đổi giá trị cực tiểu còn phát hiện đ­ợc so với giá trị trung tâm của đại l­ợng cần đo.

Độ nhạy đ­ợc quyết định bởi tỉ số tín hiệu trên tạp âm của thiết bị

Độ chính xác (accuracy) là sai lệch nhỏ nhất của các giá trị đo đ­ợc so với một giá trị chuẩn đ­ợc coi là giá trị đúng.

Độ lặp lại (reproducibility hay precision) khác với độ chính xác, một thiết bị chuẩn đ­ợc chuẩn độ kém có thể  thiếu chính xác nh­ng những kết quả không chính xác này vẫn có tính lặp lại cao.

4. Độ chọn lọc (selectivity) là khả năng phân biệt giữa các giá trị cần quan tâm và các can nhiễu có thể có.

5. Dải đo là khoảng cách giá trị trong đó phép đo định l­ợng có thể thực hiện đ­ợc.

6. Dải động (dinamic range) của một thiết bị đo là tỉ số giữa độ rộng dải đo trên độ nhạy của phép đo.

7. Độ trôi (drift), một khía cạnh rất quan trọng về chỉ tiêu của các hệ đo trong công nghiệp và phòng thí nghiệm là xu h­ớng (trôi) của các giá trị đo có phổ rất gần thành phần một chiều DC

8. Độ phân dải (resolution ) là độ chính xác mà phép đo có thể hiển thị đ­ợc.

9. Độ trễ (delay): Trong các thiết bị điện tử luôn có một sự trì trễ giữa đại l­ợng biến đổi cần đo và giá trị đo đ­ợc.